壓差
這項檢測的目的是驗證完工設施與周圍環境之間、設施內各空間之間保持規定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態。需要定期進行這項檢測。
壓差的測試應在所有的門都關閉的條件下，由高壓向低壓、由平面布置上與外界遠的里間房間開始，依次向外測試；有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室（區），其洞口處宜有合理的氣流流向等等。
潔凈室（區）的溫度和濕度，應符合下列規定：
生產工藝對溫度和濕度無特殊要求時，潔凈室（區）溫度應為18～26℃，相對濕度應為45%～65 %；
（4）不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區）之間以及潔凈室（區）與非潔凈室（區）之間的空氣靜壓差不應小于5Pa，潔凈室（區）與室外大氣的靜壓差不應小于10Pa；
（5）潔凈室（區）應根據生產要求提供照度，并應符合下列規定：
1)主要工作室一般照明的照度值宜為300lx；
2) 輔助工作室、走廊、氣閘室、人員凈化和物料凈化用室的照度值不宜低于150lx；
3)對照度有特殊要求的生產部位可設置局部照明；
（6）非單向流潔凈室（區）的噪聲級（空態）不應大于60dB（A），單向流和混合流潔凈室（區）的噪聲級（空態）不應大于65dB（A）。
緩沖室：緩沖室結構和風淋室大致相同，主要體現在內外箱體的構成，和尺寸空間方面，它比風淋室主要就少在不帶吹淋，因此內部也沒少了風淋室的主要控制系統和凈化過濾器及風機，它的主要作用就是帶有電子互鎖，緩沖室人員或物料自非潔凈區進入潔凈區的必然通道，其氣壓是自外（非潔凈區）向內（潔凈區）梯度遞增。緩沖室的作用有兩個，一個是防止非潔凈區的氣流直接進入潔凈區，有了一個緩沖室就大大降低了這種可能。二個是人員或物料自非潔凈區進入潔凈區時，在緩沖室有一個“擱置”進行自凈（主要是物料），以免進入潔凈區后，對潔凈區造成污染。
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